毎週金曜日夕方掲載
本レポートに掲載した銘柄:レーザーテック(6920)、SCREENホールディングス(7735)
レーザーテック
1.2020年6月期2Qは35%増収、55%営業増益
レーザーテックの2020年6月期2Q(2019年10-12月期)は、売上高144億600万円(前年比35.2%増)、営業利益65億5,900万円(同55.2%増)となりました。一部製品の納入が3Qにずれ込んだため、今上期(今1-2Q累計)売上高は当初の会社予想220億円を下回る199億4,800万円でしたが、研究開発費の一部が3Q以降の計上になったため、今上期営業利益は会社予想77億円を上回る79億8,800万円となりました。
今2Q売上高の中身を見ると、売上高の88%を占める「半導体関連装置」(半導体製造ライン向けのマスク欠陥検査装置、マスクブランクス欠陥検査装置が中心)が126億7,100万円(前年比55.3%増)と大きく伸びました。マスク欠陥検査装置は半導体製造ライン構築の最終段階で納入されるため、レーザーテックの半導体関連装置売上高の大きな伸びは、7ナノ半導体ラインの増強、5ナノラインの新設が進んでいることを示しています。
会社側によれば、今上期の半導体関連装置売上高159億円のうち、EUV関連機器(EUV(極端紫外線)マスク欠陥検査装置、EUVマスクブランクス欠陥検査装置)が50%を占めています。今上期は、EUV光を光源とし、ペリクル(マスクにかける防塵カバー)付き、ペリクルなし両方のマスクに対応できる最新鋭の「ACTIS A150」と、ディープUV光を使いペリクル無しマスクに対応する「MATRICS X8ULTRA」の両方とも出荷が増えていると思われます。なお、前上期はEUV関連装置の受注はありましたが納入はなかったと思われます。
また、マスク欠陥検査装置、マスクブランクス欠陥検査装置の出荷が増えるにつれて、「サービス」(保守、サービス)売上高も増加し、今2Qは14億2,000万円(同27.6%増)となりました。サービス売上高は傾向的に伸びています。
一方で「その他」売上高は、フラットパネルディスプレイ(FPD、液晶、有機ELパネル)用マスク欠陥検査装置などが、FPD設備投資の低迷で3億1,500万円(同77.2%減)と大幅に減少しました。
シリコンウェハの表面に露光装置を使って回路を焼き付ける際に使う材料が「マスク(フォトマスク)」で、その素材が「マスクブランクス」です。半導体はホコリやキズを嫌うので、マスク、マスクブランクスもホコリやキズがないか調べる必要があります。この検査に使うのが、マスク欠陥検査装置、マスクブランクス欠陥検査装置です。
EUV用マスク欠陥検査装置のレーザーテックの市場シェアは、ペリクルありのタイプが100%、ペリクル無しも過半数を得ています。そのため採算が良く、今2Qの売上高営業利益率は45.5%と、前2Qの39.7%からさらに上昇しました。現在はまだEUV用マスクのために十分な性能を持つペリクルが開発されていないようですが、ペリクル無しの状態ではホコリ(パーティクル)による処理速度低下の問題があります。そのため、EUV用ペリクルが開発された後では(2020年中?)、EUV用マスク欠陥検査装置はディープUV光を使うX8ULTRAよりもEUV光を使い単価が高いA150が主流になると予想されます(ペリクルを使う場合、マスクを検査する際に光の透過率が下がるため、より波長の短いEUV光源を使うA150を使うことになると思われる)。
表1 レーザーテックの業績
グラフ1 レーザーテックの四半期売上高